环境设备类 HITACHI日立01E-6378电镜灯丝靶材156/5513/4803

HITACHI日立01E-6378电镜灯丝靶材156/5513/4803

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HITACHI日立01E-6378电镜灯丝靶材156/5513/4803

联系人：俎女士

Tel: +86 156 5513 4803

QQ：2802919871

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喷镀速率 ^*1(最大) [条件] 压力：7 Pa 放电电流：40 mA 标靶与样品表面之间的距离：20 mm	Pt 靶(选配件)	15 nm/min
	Pt-Pd 靶(选配件)	20 nm/min
	Au 靶(选配件)	35 nm/min
	Au-Pd 靶(选配件)	25 nm/min
样品尺寸	最大直径	φ60 mm
样品尺寸	最大高度	20 mm