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ULVAC爱发科VDN902油旋片真空泵合肥栗山胡181-0560-8873

ULVAC爱发科VDN902油旋片真空泵

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简介

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分类: 仪器仪表类,
产品详情

ULVAC爱发科VDN902油旋片真空泵合肥栗山胡181-0560-8873 .
ULVAC爱发科VDN902油旋片真空泵合肥栗山胡181-0560-8873 

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VDN902 は、アルバックが開発した高効率・低騒音・長寿命の油シールロータリー真空ポンプで、各種産業の真空プロセスに最適です。強制油循環システムを搭載し、大気圧近傍から高真空域まで安定した連続運転に対応し、メンテナンス性に優れた設計が特徴です。

主な仕様(50Hz 基準)

設計排気速度:90 m³/h(1500 L/min)、60Hz 時は 108 m³/h(1800 L/min)

到達真空度:ガスバルブ閉鎖時 0.67 Pa;ガスバルブ開放時 2.0 Pa

モータ出力:3.7 kW(IE3 高効率モータ対応)

オイル容量:2.5~4.0 L(可変油量方式、R-7 真空油推奨)

吸気 / 排気口:VG50/VG40

重量:約 105 kg

適用分野

半導体・FPD:蒸着、スパッタ、イオンプレーティング

真空プロセス:ガス置換・封入、真空断熱、真空乾燥、凍結乾燥、真空脱泡

計測・分析:分析機器、リークテスター

一般産業:真空包装、真空吸着搬送、真空成形、真空鋳造

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TEAC数显控制仪表TD-700T销售156/5513/4803
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