ULVAC爱发科VDN902油旋片真空泵合肥栗山胡181-0560-8873 .
ULVAC爱发科VDN902油旋片真空泵合肥栗山胡181-0560-8873
ULVAC爱发科VDN902油旋片真空泵合肥栗山胡181-0560-8873
VDN902 は、アルバックが開発した高効率・低騒音・長寿命の油シールロータリー真空ポンプで、各種産業の真空プロセスに最適です。強制油循環システムを搭載し、大気圧近傍から高真空域まで安定した連続運転に対応し、メンテナンス性に優れた設計が特徴です。
主な仕様(50Hz 基準)
設計排気速度:90 m³/h(1500 L/min)、60Hz 時は 108 m³/h(1800 L/min)
到達真空度:ガスバルブ閉鎖時 0.67 Pa;ガスバルブ開放時 2.0 Pa
モータ出力:3.7 kW(IE3 高効率モータ対応)
オイル容量:2.5~4.0 L(可変油量方式、R-7 真空油推奨)
吸気 / 排気口:VG50/VG40
重量:約 105 kg
適用分野
半導体・FPD:蒸着、スパッタ、イオンプレーティング
真空プロセス:ガス置換・封入、真空断熱、真空乾燥、凍結乾燥、真空脱泡
計測・分析:分析機器、リークテスター
一般産業:真空包装、真空吸着搬送、真空成形、真空鋳造

MAGNESCALE索尼LT20A-101数显表15655134803
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