FUJIKIN富士金手动隔膜阀FVPDF-R166-EM1G杨:181-0560-8753
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FUJIKIN富士金手动隔膜阀FVPDF-R166-EM1G
FUJIKIN富士金手动隔膜阀FVPDF-R166-EM1G
FUJIKIN富士金手动隔膜阀FVPDF-R166-EM1G
FUJIKIN 富士金 FVPDF-R166-EM1G 是FVPDF 系列手动直通隔膜阀,1/2 英寸(12.7mm)、316L EP、MVCR 金属密封、带行程指示器,专为半导体 / 特气 / 高纯流体系统设计,主打零泄漏、无死角、高洁净、高压耐用。
| 参数项 | 规格值 |
|---|---|
| 阀门类型 | 手动直通隔膜阀(FVPDF 系列) |
| 公称通径 | 1/2"(12.7mm) |
| 连接方式 | MVCR/VCR 金属面密封(兼容 Swagelok 等) |
| 阀体材质 | SUS316L 不锈钢 |
| 表面处理 | EP(电解抛光),Rz≤0.4μm(可选 UP 超抛光) |
| 隔膜材质 | Elgiloy 镍钴合金(双层金属) 或 PFA/FFKM(高耐久 / 耐腐) |
| 阀座材质 | PCTFE(标准) |
| 密封形式 | 直接式隔膜密封(无死角、零泄漏) |
| 最大工作压力 | 20.5 MPa(205 bar)(高压型) |
| 适用温度 | -10℃ ~ +80℃ |
| 适用流体 | 高纯气体、腐蚀性气体、电子级化学品、真空 |
| 洁净标准 | 符合 SEMI F57,无离子污染、无金属析出 |
| 驱动方式 | 手动旋转手轮(Spin Handwheel) |
| 行程指示 | 标配 G 型行程指示器(开度可视化) |
| 泄漏等级 | 氦检:< 5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s(零泄漏) |
| CV 值 | 1.5(20℃氮气,大流量) |
| 流道设计 | 直通、零死角、全抛光,无残留 |
| 安装方向 | 任意(双向流动) |
| 重量 | 约 1.2 kg |
Shachihata旗牌XBL-M16RCH1-W/3P墨盒15655134803
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