FUJIKIN富士金气动隔膜阀NFPR-ND-71-6.35-2杨:181-0560-8753
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FUJIKIN富士金气动隔膜阀NFPR-ND-71-6.35-2
FUJIKIN富士金气动隔膜阀NFPR-ND-71-6.35-2
FUJIKIN富士金气动隔膜阀NFPR-ND-71-6.35-2
FUJIKIN 富士金 NFPR-ND-71-6.35-2 是FPR 系列低压气动直通隔膜阀(常闭 NC),为1/4"(6.35mm)、316L EP、UJR 金属密封、低压型,主打超高洁净、零泄漏、气动快速开关,广泛用于半导体 / 特气 / 高纯流体的自动化控制
| 参数项 | 规格值 |
|---|---|
| 阀门类型 | 气动直通隔膜阀(常闭 NC,失气关断) |
| 公称通径 | 1/4"(6.35mm)フジキン |
| 连接方式 | UJR 金属面密封(母头) |
| 阀体材质 | SUS316L 不锈钢 |
| 表面处理 | EP(电解抛光),Rz≤0.4μm |
| 隔膜材质 | Elgiloy 镍钴合金(双层金属) |
| 阀座材质 | PCTFE(标准) |
| 密封形式 | 直接式隔膜密封(无死角、零泄漏) |
| 最大工作压力 | 1.0 MPa(10 bar)(低压型) |
| 适用温度 | -10℃ ~ +80℃ |
| 适用流体 | 高纯气体、腐蚀性气体、电子级化学品、真空 |
| 洁净标准 | 符合 SEMI F57,无离子污染、无金属析出 |
| 驱动方式 | 气动(常闭 NC),操作气接口 M5×0.8 |
| 操作气压 | 0.34~0.49 MPa |
| 泄漏等级 | 氦检:< 5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s(零泄漏) |
| CV 值 | 0.3(20℃氮气) |
| 流道设计 | 直通、零死角、全抛光 |
| 安装方向 | 任意(双向流动) |
| 重量 | 约 0.55 kg |
| 面间距离 | 83 mm |
日本植田UEDA压力开关OPL-550系列OPL-550-2-R3B胡181-0560-8873
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