Hephaist对位平台NAF3C-16K00P销售156/5513/4803
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行程 *2 XY±5mm・θ±3°
表格大小 160毫米 x 160毫米
底座尺寸 170毫米 x 170毫米
高度 45毫米
可重复定位精度 ±在0.7微米以内
失落运动 2微米以内
光微传感器 *5 PM-L25 / 松下器件 SUNX
舞台材料 铁:低温黑铬处理 / 铝:黑色阳极氧化铝
质量 6公斤
润滑材料 低粉尘润滑脂
MaedaKoki前田工机流量计MKCM20-2TL-OFF销售156/5513/4803
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