美国MKS 皮拉尼真空变送器925-12030传感器181/0560/8873
美国MKS 皮拉尼真空变送器925-12030传感器181/0560/8873
美国MKS 皮拉尼真空变送器925-12030传感器181/0560/8873
型号:925‑12030(标准型,无显示)
传感原理:MEMS MicroPirani(热传导)
测量范围:1×10⁻⁵ Torr ~ 760 Torr(大气压)
接口:**NW16 ISO‑KF(KF16)** 法兰
输出 / 通讯:
模拟:1~9 VDC,1 V / 十倍程,16 bit
数字:RS485(4800~230400 波特)
继电器:3 路,1 A @ 30 VAC/DC,响应<100 ms
精度(N₂,25℃):
5e‑4~1e‑3 Torr:±10% 读数
1e‑3~100 Torr:±5% 读数
100~760 Torr:±25% 读数
供电:9~30 VDC,功耗<1.2 W
材质 / 密封:304 不锈钢,Viton密封
温度:工作0~40℃;烘烤(断电)85℃
过载耐压:3000 Torr(绝压)
重量:约 170 g
典型应用
真空镀膜、半导体、光伏设备
真空热处理、钎焊炉、烧结炉
冷冻干燥、分子蒸馏、实验室真空系统

日本HORIBA堀场3552-10D电导率计/电极181/0560/8873
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