Simco-Ion思美高离子风棒5635 杨：181-0560-8753

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简介

Simco-Ion思美高离子风棒5635 Simco-Ion思美高离子风棒5635 Simco-Ion思美高离子风棒5635 Simco-Ion技术集团的AeroBar 5635调制脉冲电离棒专门设计用于半导体及其他超洁净制造工艺中消除静电荷，这些工艺需要快速放电时间、低摆幅电压和精密平衡。5635型号采用MP技术，将…

分类: 环境设备类,

产品详情

Simco-Ion思美高离子风棒5635

Simco-Ion技术集团的AeroBar 5635调制脉冲电离棒专门设计用于半导体及其他超洁净制造工艺中消除静电荷，这些工艺需要快速放电时间、低摆幅电压和精密平衡。5635型号采用MP技术，将高频正弦波与调制脉冲（MP）结合，实现高离子输出和传输。这一突破性技术使AeroBar能够安装在晶圆150毫米范围内。MP技术结合超洁净硅发射点和精密调节，实现ISO 14644-12电离（0.01微米颗粒或纳米颗粒）和ISO 14644 1类（0.1微米颗粒）的清洁度，这对小型技术节点至关重要。

扩展ISO 1类（10纳米）粒子清洁度
调制脉冲技术
横向均匀性极佳
低场电压
空中助推能力
可选软件，界面易用且可调节性宽广
报警输出信号

规格

电压	输入：24伏直流±10%功率输入 RJ-45;0.7A（最大）输出：13.5 kV p-p（最大），可调
退伍	±1000-100V，15秒内，无气助，Vp-p在发射中心点组下方24英寸处摆动80
平衡	<±35V在受控环境下、距离18英寸测量
离子发射	调制脉冲（MP）技术
发射极	ISO 14644-1 一类单晶硅
无垢室类别	ISO 14644-1（0.1微米颗粒）和扩展ISO 1级清洁度（10纳米颗粒或纳米颗粒），使用45-50%输出电压设定和配备单晶硅发射器的OpenJet喷嘴
尺寸	3.1英寸高 x 1.3英寸宽 x 17.7英寸 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5英寸长（7.8 x 3.4 x 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米）