日本FUJI SEIKI自动泄露阀LEV-3NW25供应181/0560/8873
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阀座节流孔径 φ4mm(固定微量进气孔,匀速泄压)
阀机能 NO 常开通路(无驱动气 = 阀门打开;通气 = 密封关闭)
驱动方式 气动驱动 + 内置弹簧自动复位
标准驱动气压 0.4~0.6MPa (G) 洁净干燥压缩空气
密封漏率(关闭状态) ≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s,高真空密封等级
适用真空区间 常压 10⁵ Pa ~ 高真空 10⁻⁵ Pa
真空侧连接 NW25 (KF25) 真空快拆法兰,配套卡箍、氟胶圈
阀体材质 SUS304 不锈钢,内腔镜面洁净处理
工作介质 真空侧:空气、氮气、惰性气体;驱动侧:干燥压缩空气
使用温度 -10℃~+80℃
典型应用场景
光学蒸镀、溅射镀膜机腔体缓破真空;
半导体晶圆真空载台、真空探针检测设备;
氦质谱检漏仪微量校准、真空检漏腔体;
锂电池真空烘烤、真空注液设备;
日本SR液压切换阀APCO-5-A2详询18105608873
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